手動探針臺是一款專門針對半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-09-08

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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手動探針臺是一款專門針對半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。手動探針臺這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)：

1.溫度范圍： -196℃~400℃

2.加熱區(qū)： φ27mm

3.探針行程： 13mm

4.探針位移精度 1μm

5.探針針尖直徑（默認(rèn)） 100μm

6.物鏡工作距離： 15mm

7.通光孔直徑： 2mm

8.最大升溫速率： 0~60℃/min

9.觀察窗： φ40mm

10.溫控精度： 0.1℃

11.極限真空： 1pa（機(jī)械泵）,5x10^(-3)pa(分子泵)

12.支持反射/透射模式

13.支持改動和定制

14.上位機(jī)軟件控制

型號		MHS300V-4P	MHS400V-4P
溫控模塊	加熱/制冷方式	電阻加熱，液氮制冷
	溫控范圍	-196~300°C*	-196~400°C*
	溫度穩(wěn)定性	±0.1°C
	溫度分辨率	0.1°C
	最大升溫速率	0~60°C/min (可定點(diǎn)/程序段控溫)
	溫控方式	PID
	溫度傳感器	PT100
光學(xué)特性	光路	反射/透射光路（可選）
	視窗材質(zhì)	石英玻璃*
	視窗尺寸	φ40mm*
	視窗厚度	0.5mm*
	物鏡工作距離	15mm*
	透光孔	φ2mm*
電學(xué)特性	探針	移動探針模組x4 *,手動調(diào)整XYZ
	探針行程	13mm
	探針位移精度	1μm
	探針接口	SMA 接口x4*
	探針直徑	10 / 50 / 100 μm*
	樣品臺面電位	接地（默認(rèn)接地）/電懸空/三同軸*（可選）
結(jié)構(gòu)特性	樣品臺尺寸	φ27mm*
	樣品臺材質(zhì)	銅質(zhì)*	純銀*
	外形尺寸	460x290x82mm*
	樣品腔高度	12mm*
	腔室	真空
基本配置	冷熱臺x1、溫控系統(tǒng)x1、低溫系統(tǒng)x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件
選配	電腦主機(jī)/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統(tǒng)/其他定制
備注	以上為默認(rèn)參數(shù) * 為可定制項(xiàng)
其他可選型號	按需求進(jìn)行配置